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      我們的隔膜密封閥産品有多種尺寸、材質和配置可供選擇,能夠滿足各種高純和超高純 (UHP) 應用的需求。

      隔膜密封閥:

      • 循環壽命長,可有效關斷
      • 具有包括手動、氣動和鎖定在内的執行機構選購件
      • 提供各種尺寸、材質和配置

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      選購所有隔膜密封閥請浏覽我們的産品目錄

      Questions? 查找銷售與服務中心.

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      選購 LD 系列LD 系列産品目錄

      LD 系列大宗氣體隔膜閥的流量系數高達 13,有多種閥體材料和配置可供選擇,因此廣泛适用于各種超高純關斷、大宗氣體輸送和隔離應用。

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      工作壓力 最高 300 psig (20.6 bar)
      溫度 -20° 至 300°F(-28° 至 148°C)
      流量系數 最高 13
      閥體材料 CF3M 鑄造不鏽鋼、鍛造和棒材 316L 不鏽鋼
      隔膜材料 316L 不鏽鋼
      端接
      類型 世偉洛克卡套管接頭、外螺紋 VCR® 面密封接頭、内螺紋 NPT、内螺紋 ISO、卡套管延長管
      尺寸 1/4 至 1 in.;12 至 25 mm

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      Shop DL and DS SeriesDL 和 DS 系列産品目錄

      DL 系列和 DS 系列隔膜閥為 3500 psig (241 bar) 以下壓力的高純和超高純應用提供無填料的全金屬密封。

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      工作壓力 最高 3500 psig (241 bar)
      溫度 -100° 至 250°F(-73° 至 121°C)
      流量系數 最高 0.30
      閥體材料 316L 不鏽鋼
      隔膜材料 316 不鏽鋼
      端接
      類型 世偉洛克卡套管接頭、VCR® 面密封接頭、VCO® O 型圈接頭、卡套管對焊、卡套管承插焊
      尺寸 1/4、3/8 和 1/2 in.;6 和 8 mm

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      選購 DRP 系列DRP 系列産品目錄

      DRP 系列超高純隔膜閥符合适用于超高純化學品輸送系統與設備的 SEMI 标準 F57-0301,其增強型設計有助于最大程度地減少截留區并延長隔膜壽命。

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      壓力額定值 最高 100 psig (6.8 bar)
      介質溫度 73° 至 212°F(23° 至 100°C)
      流量系數 最高 10.2
      閥體、隔膜材料 改良型 PTFE
      端接
      類型 标準配置為細牙螺紋擴口和 Nippon Pillar Super 300®;ISO、NPT、Flowell
      尺寸 1/4 至 1 1/4 in. 和 6 至 25 mm
      配置 2 通和 3 通手動和氣動關斷;流量可調和旁通型

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      選購 DF 系列DF 系列産品目錄

      DF 系列隔膜閥廣泛适用于各種超高純大流量應用場合,流量系數為 0.62,并配備有大流量端接。

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      工作壓力 真空至 300 psig (20.6 bar)
      爆裂壓力 3200 psig (220 bar)
      執行壓力 70 至 100 psig(4.9 至 6.8 bar)
      溫度 -10° 至 270°F(-23° 至 132°C)
      流量系數 0.62
      閥體材料 316L VAR 不鏽鋼
      隔膜材料 钴基高溫合金
      端接
      Type “H”型 VCR® 面密封接頭、VCR® 面密封接頭、卡套管對焊
      Size 1/4、3/8、1/2 in.;10 和 12 mm

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      選購 DP 系列DP 系列産品目錄

      DP 系列隔膜閥采用 316L VIM-VAR 結構,适用于各種超高純應用場合。

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      工作壓力 真空至 3045 psig (210 bar)
      爆裂壓力 最高 12 200 psig (840 bar)
      執行壓力 60 至 120 psig(4.2 至 8.2 bar)
      溫度 -10° 至 300°F(-23° 至 150°C)
      流量系數 0.20 和 0.27
      閥體材料 316L VIM-VAR 不鏽鋼
      隔膜材料 钴基高溫合金
      端接
      Type 世偉洛克卡套管接頭、VCR® 面密封接頭、卡套管對焊、模塊化表面安裝 (MSM)
      Size 1/4 in.;6 mm

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      DE 系列産品目錄

      DE 系列無彈簧隔膜閥有多種執行機構選購件可供選擇,易于集成到 1.125 in. C 型密封或 W 型密封模塊氣體系統中。

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      工作壓力 真空至 125 psig (8.6 bar)
      爆裂壓力 3200 psig (220 bar)
      執行壓力
      常閉 60 至 120 psig(4.1 至 8.2 bar)
      常開和 60 至 90 psig(4.1 至 6.2 bar)
      常閉,帶手動
      整體鎖定超控
      溫度 14° 至 150°F(-10° 至 65°C)
      流量系數 0.3
      閥體材料 316L VIM-VAR 不鏽鋼
      隔膜材料 钴基高溫合金
      端接
      類型 1.125 in. 模塊化表面安裝 (MSM)
      配置 2 孔口和 3 孔口

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      DH 系列産品目錄

      世偉洛克熱浸沒型隔膜閥啟動速度快,流量系數高達 0.60,能夠在原子層沉積 (ALD)、前體輸送等高溫工藝應用場合的 220°C (428°F) 溫度下提供最佳性能。此系列閥門有氣動型和手動型可供選擇,并具有各種 1/4 和 3/8 in. 端接。

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      工作壓力 真空至 70 psig (4.8 bar)
      爆裂壓力 > 3200 psig (220 bar)
      Actuation Pressure 60 至 90 psig(4.1 至 6.2 bar)
      溫度 20° 至 220°C(70° 至 428°F)
      流量系數
      “H”型 VCR® 連接件 20°C (70°F) 下為 0.60
      220°C (428°F) 下為 0.40
      VCR 和所有其他連接件 20°C (70°F) 下為 0.30
      220°C (428°F) 下為 0.21
      模塊化表面安裝 body 20°C (70°F) 下為 0.25
      220°C (428°F) 下為 0.21
      閥體材料 316L VIM-VAR 不鏽鋼
      隔膜材料 钴基高溫合金
      端接
      Type VCR 和“H”型 VCR 金屬墊片面密封接頭、卡套管對焊;模塊化表面安裝 (MSM)
      Size 1/4 和 3/8 in.
      1.125 和 1.5 in. MSM

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      安心的産品選擇:必須查看全部産品目錄内容以保證系統設計者和用戶進行安全的産品選擇。選擇産品時,必須考慮總體系統設計以保證獲得安全無故障的性能。産品的功能、材料兼容性、充分的額定值、正确的安裝、操作和維護均是系統設計者和用戶的責任。

      注意:切勿将世偉洛克的雙卡套管接頭端接組件(或不符合工業設計标準的其他産品)與其他制造商的組件混用/互換。
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